Cov Cim Txheej Txheem Tsis Ncaj Ncees Zaj Dab Tsi Los ntawm Magnetron Sputtering Nqus Plua Plav Txheej Tshuab

Cov yam tseem ceeb ntawm cov cwj pwm uas tsis sib txig sib luag ua los ntawm magnetron sputtering nqus plhaub txheej tshuab muaj peb yam: lub tshuab nqus tsev, lub nqus dej thiab cov pa roj carbon argon.

Ua hauj lwm txoj cai ntawm magnetron sputtering nqus plhaub txheej tshuab yog tias nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev, lub electron ntawm orthogonal magnetic teb rau bombard lub argon thiab tsim lub argon ion, ces bombardment lub hom phiaj, thiaj li hais tias lub hom phiaj ion tau muab tso rau ntawm lub saum npoo ntawm txoj hauj lwm thooj rau daim ntawv nyias nyias.

Lub tshuab nqus tsev yuav tsum tau siv qhov kev siv zog kom tswj, thiab txhua qhov tso pa yuav tsum tau ua ib ntus thiab ua txhua yam. Yog hais tias qhov siv cov khoom tsis tsim, lub siab hauv lub qhov chaw nqus tsev vacuum yuav tsis sib luag. Lub siab muaj qee yam cawv rau lub zog ntawm ions. Tsis tas li ntawd, lub sijhawm yuav tsum siv tshuaj. Cov luv luv yuav ua rau tsis muaj lub qhov nqus, tab sis nws yog ntev dhau lawm thiab kev pov tseg ntawm cov kev pab.

Lub magnetic teb ua haujlwm orthogonally, tab sis nws tsis tuaj yeem ua rau magnetic teb siv 100% cov tsoos tsho. Nyob qhov twg hauv dav hlau magnetic yog muaj zog, lub thickness ntawm zaj duab xis yog loj, tab sis nws yog me me on qhov tsis tooj, yog li nws yuav ua rau inconsistency ntawm tuab ntawm zaj duab xis. Txawm li cas los xij, nyob rau hauv cov txheej txheem ntau lawm, tsis meej pem ntawm zaj yeeb yaj kiab vim tsis yog-uniformity ntawm cov hlau nplaum tsis sib xws.

Argon gas uniformity tseem cuam tshuam cov zaj duab xis uniformity, thiab lub ntsiab cai zoo li nqus. Vim tias cov lus sib cav nkag mus hauv lub tshuab nqus tsev, lub siab hauv lub chamber yuav hloov. Lub teeb huab cua tuaj yeem tswj tsis tau ntawm cov xim ntawm cov hlau nplaum ntawm magnetron tshuab nqus plua plating txheej tshuab.

Rau ntau tshaj ib xyoo, IKS specializing nyob rau hauv txhua yam ntawm lub tshuab nqus tsev daim ntawv cov khoom siv tsim, nplooj siab rau cov kev tshawb fawb thiab kev lag luam thiab kev tsim cov tshuab nqus tsev, nrog lub tshuab tshiab tas li tsim tau raws li kev lag luam xav tau ntawm lub tshuab nqus hlau, technology kev daws teeb meem thiab khoom siv.