Sib nqus teb - pab ion plating arc qhov chaw thiab nws cov yam ntxwv paug tau txheeb xyuas

Sib nqus teb - pab ion plating arc qhov chaw thiab nws cov yam ntxwv paug tau txheeb xyuas

Cov qauv, ua haujlwm lub hauv paus, txav ntawm arc chaw thiab paug cov yam ntxwv ntawm ntau qhov chaw sib nqus tswj arc ion plating qhov chaw tau raug txheeb xyuas. Lub hom phiaj qauv thiab kev sib nqus daim teb sib txawv ntawm cov kev sib nqus zoo sib txawv pab tswj cov khoom siv arc raug muab piv. Kev txhim kho ntawm arc ion plating arc qhov chaw tswj los ntawm kev sib nqus yog qhov cia siab .

Txhim kho cov txheej txheem ua kom zoo dua qub thiab kev ua haujlwm lub neej ntawm cov cuab yeej thiab pwm yog qhov kev kawm uas tib neeg ib txwm tshawb nrhiav. Arc ion plating thev naus laus zis yog hom kev hloov kho tshuab ntawm cov khoom siv tuag, uas muaj qhov zoo ntawm cov qib siab ionization, ntsuas kub tsis zoo, ua zaj duab xis zoo thiab tso nyiaj ceev ceev, thiab lwm yam, uas tsis muaj nyob hauv lwm txheej txheej txheej. Txawm li cas los xij, cov kev hais ntawm cov loj uas tshwm sim los ntawm arc paug txwv qhov kev thov ntxiv ntawm tuag txheej txheej thev naus laus zis, uas tau dhau los ua cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm kev txhim kho arc ion plating thev naus laus zis.

Ion plating arc qhov yog qhov los ntawm arc plasma tawm thiab yog qhov tseem ceeb ntawm cov tshuab ion plating. Qhov pib arc siv nyob rau hauv arc ion plating yog qhov txias cathode arc qhov chaw, tus cwj pwm ntawm arc hauv qhov no arc source yog tswj los ntawm ntau qhov txav ceev thiab zoo heev cathode pob rau ntawm qhov chaw cathode. Hauv kev tsim thiab ua kom zoo tshaj arc ion plating thev naus laus zis, kev tswj tau zoo ntawm arc cathode chaw txav yog qhov tseem ceeb heev, vim nws txiav txim siab qhov ruaj khov ntawm arc paug, siv cov cathode phiaj zoo, tshem tawm ntawm cov loj loj, txhim kho zaj duab xis zoo thiab ntau lwm yam cov teeb meem tseem ceeb. Nyob hauv tsev thiab sab nraud, qhov kev tshawb nrhiav kev tsom xam yog qhov tseem ceeb yog cov arc qhov tsim ntawm kev sib nqus ntawm cov khoom sib nqus.Qhov rau cov yam ntxwv ntawm lub cev ntawm lub tshuab nqus tsev arc, qhov chaw thov electromagnetic yog ib txoj hauv kev zoo los tswj kev txav ntawm arc me ntsis. Nyob rau tam sim no, txhua qhov kev sib nqus qauv tsim xav txog kev tsim qee yam kev sib nqus ntawm kev sib nqus ntawm lub hom phiaj saum npoo, siv cov cai Lub Ntse coj los txwv txoj kev txav ntawm txoj kev txav chaw, thiab siv cov khoom sib hloov los txhim kho qhov txav ceev ntawm arc me ntsis.

Qhov kev tsim zoo tshaj plaws magnetic teb tau muaj raws li hauv qab no: ntawm ib sab tes, nthuav thaj tsam thiab qhov siv sib hloov ntawm cov sib hloov sib nqus ntawm lub sib nqus ntev li deb tau; ntawm qhov tod tes, kev tswj hwm thiab txwv kev txav ntawm arc me ntsis rau ntau tshaj. Vim tias lub sijhawm ua haujlwm ntev ntawm cov cuab yeej plating zaj duab xis, qhov ua tau zoo ntawm zaj duab xis yuav tsum muaj qhov siab, kev lag luam daim ntawv thov ntawm ion plating arc qhov yuav tsum muaj cov yam ntxwv li nram no: (1) kev tso tawm ruaj khov, tsis feem ntau tawm ntawm arc; (2) arc spot kev txav chaw muaj qhov tsim nyog, tsis txhob khiav arc; (3) qhov hom phiaj siab siv cov khoom siv; (4) zoo nkauj arc chaw, paug hluav taws xob ceev qhov me me, qhov me me; (5) lub plasma ntom thiab ionization tus nqi yog qhov siab, thiab ntshav flux thauj mus rau qhov chaw ua haujlwm yog txaus.

Hauv kev pom ntawm cov tam sim no nrov ntau cov cuab yeej siv nyob rau hauv txheej teb ntu qhov pib ntawm arc ion plating, hauv daim ntawv no, qhov kev sib piv ntawm kev sib txawv ntawm cov sib txawv ntu sib nqus tswj cov arc qhov phiaj qauv, cov sib nqus teb configuration thiab cov cim tsim tshuab, sib tham txog qhov sib txawv kev teeb tsa ntawm cov khoom sib nqus ntawm arc spot txav, cov txiaj ntsig ntawm kev tawm thiab qhov zoo thiab qhov tsis zoo ntawm cov txheej txheem txheej txheej, thiab lwm yam, los tswj cov chaw sib nqus ntawm kev txhim kho hluav taws xob arc ion plating arc qhov chaw tau tham.

1. Lub voj voog arc me me

Ion plating arc qhov uas thawj zaug siv nyob rau hauv cov cuab yeej plating yog qhov raug me me arc qhov qhia los ntawm Russia, uas muaj qhov zoo ntawm cov qauv yooj yim, txhim kho yooj yim, phiaj sib txuas ua ke nrog cov sib txawv ntawm txhua qhov chaw, yooj yim kom paub ntau txheej txheej npaj. thiab yog li ntawd. Lub hom phiaj ntawm arc feem ntau kwv yees li 60 ~ 160 hli hauv qhov taub thiab 20 ~ 40 mm hauv thickness. Raws li muab piv nrog lwm cov cathode arc cov khoom me me loj npaum li cas, yog li nws feem ntau hu ua arc source me. Cov khoom siv hluav taws xob me me feem ntau siv tshuab xaim hluav taws xob lossis pneumatic yam siv tshuab arc ignition hom. Thaum ua haujlwm, arc rab koob raug rub rov qab mus rau qhov kev sib cuag cathode phiaj khoom rau arc ignition, thiab cov xov hluav taws xob arc tiv thaiv kab hluav taws xob raug txiav tawm tom qab kev cuam tshuam cov arc ignition, thiab arc tawm kho yog tswj los ntawm lub zog arc.

Lub chaw tswj cov khoom sib nqus ntawm cov khoom siv arc feem ntau los ntawm cov hlau nplaum ruaj khov tso rau tom qab ntawm lub hom phiaj. Cov hlau nplaum tuaj yeem yog cylindrical, ncig, lossis ntiv nplhaib-cylindrical nyob rau hauv cov duab. Siv cov khoom sib nqus tsim los ntawm cov hlau nplaum tas mus li ntawm qhov chaw ntawm lub ntsej muag tuaj yeem tswj qhov chaw pib txav, txhim kho kev tawm suab kom ruaj khov thiab tsis txhob khiav tawm. Lub hom phiaj qhov chaw cov khoom sib nqus feem ntau yog 1 ~ 5 mT los tswj kev tso zis tsis tu ncua ntawm cov khoom me me. Nrog cov ua ntej ntawm cov hlau nplaum tas mus li, kev sib zog ntawm lub tshuab hluav taws xob nyob rau hauv pem hauv ntej ntawm lub hom phiaj nce, ua kom muaj lub zog tsav tsheb radial thiab lub zog sib luag ntawm lub tshuab hluav taws xob, kom qhov chaw arc tig ib puag ncig ntawm qhov chaw thiab radally sab nraud los ntawm qhov chaw ntawm lub voj voog. Ua kom nce qhov kev sib nqus ntev ntau tuaj yeem ua kom nce nrawm thiab vojvoog ntawm arc chaw txav, raws li qhia hauv FIG. 1 (a). Txawm li cas los xij, cov hlau nplaum ruaj khov tso tom qab ntawm cov kab ke me me arc qhov chaw lub hom phiaj feem ntau tau tsau rau hauv cov dej txias, uas yog qhov yooj yim rau demagnetize tom qab ntev soak, thiab cov hlau nplaum yuav tsum tau hloov tas li. Ntxiv mus, qhov chaw sau lub zog sib nqus tsis yooj yim los kho, yog li qhov sib nqus ntawm qhov sib nqus ntawm lub hom phiaj tsuas yog kho tau los ntawm kev hloov cov hlau nplaum tas mus li tom qab lub hom phiaj mus thiab rov qab.

Tam sim no, ntau lub tuam txhab tau txhim kho cov khoom siv arc, feem ntau suav nrog: kev coj ua dej-ua-ua dej txias, tso cov hlau nplaum ruaj khov sab nraud ntawm cov dej-txias channel, zam kev tsis tuaj yeem thiab muab cov khoom sib nqus loj tsim qhov chaw, uas zoo rau kev tsim cov sib nqus sib xyaw. teb ntawm hluav taws xob txuas txuas mus tas li lub teb chaw sib nqus, thiab txhawb txoj kev txhim kho ntawm ion plating arc qhov chaw, raws li pom hauv daim duab 1 (c) .Piv txwv li, balchas siv USES ib qho phiaj nrog lub taub 160 hli, uas yog ncaj qha-dej txias. Sab nraub qaum ntawm lub hom phiaj muab ntau yam kev sib nqus Circuit Court tsim, thiab muaj ntau yam txuam sib nqus daim teb chaw tsim kho rau kev tswj hwm thiab txhim kho ntawm arc spot paug. Ib lub tuam txhab kev lag luam hauv tebchaws tau maj mam tsim cov kab loj uas muaj qhov ntev txog 150 hli, uas feem ntau siv cov qauv dej tsis ncaj-txias thiab cov qauv sib nqus kuj tseem muaj ntau hom qauv, muab cov kev daws teeb meem ntxiv rau txheej kev sib txawv, ua kom zoo dua thiab kev tso nyiaj ntawm loj tuab zaj duab xis txheej.

LIG. 1 txhim kho me me arc qhov qauv thiab arc spot paug

2. Qhov xaus

Hauv kev pom ntawm cov khoom siv tam sim no sib nqus tau pab ion plating arc qhov siv nyob rau hauv cov cuab yeej plating, cov cathode thiab cov chaw sib nqus tau sib txawv ntawm cov sib nqus sib nqus tau pab tswj cov khoom siv arc tau tshawb xyuas thiab sib piv, thiab qhov cuam tshuam rau arc spot txav, paug thiab txheej txheej txheej. kuj tau tshawb xyuas.

(1) ncig me me arc qhov muaj qhov zoo ntawm cov qauv yooj yim, txhim kho yooj yim, hom phiaj sib xyaw ua ke nrog cov khoom sib txawv ntawm txhua qhov chaw, thiab yooj yim ntau txheej txheej npaj. Lub chaw tswj cov khoom sib nqus ntawm cov tsoos ncig me me zas los feem ntau los ntawm cov hlau nplaum ruaj khov tso rau tom qab ntawm lub hom phiaj. Nyob rau tam sim no, kev txhim kho ntawm puag ncig arc qhov chaw adopts indirect dej-txias channel thiab phiaj qauv nrog loj txoj kab uas hla (150 hli), thiab lub teb chaw sib nqus tau teeb tsa muaj ntau hom, muab ntau cov kev daws teeb meem rau cov txheej txheej tsis zoo, cov khoom tawg zoo thiab tso ntawm loj tuab zaj duab xis txheej.

(2) Lub dav hlau ua haujlwm loj arc qhov chaw thiab tig cylindrical arc qhov chaw tuaj yeem txhim kho cov teeb tsa sib txawv ntawm cov txheej txheej, txo qhov txo lub zog ntawm arc chaw thiab txo qhov loj, uas tuaj yeem siv los npaj cov zoo zaj duab xis txheej raws li lub hauv paus ntawm cov cuab yeej thiab kho kom zoo nkauj tsho tiv no. Txawm li cas los xij, nws qhov tsis zoo yog tias lub hom phiaj yog ib qho, nyuaj los npaj ntau txheej, tib lub sij hawm, lub hom phiaj siv tau tsawg, kev sib nqus tsim qauv muaj qee yam kev txawj ntse, cov qauv tsis tsim nyog yog yooj yim ua rau arc khiav, tawm tsis txaus thiab lwm yam teeb meem , tsis yog zoo rau kev siv mus sij hawm ntev txheej txheej.

(3) Cov tshuab ua haujlwm sib nqus magnetron arc qhov chaw tuaj yeem tsim ntau hom kev sib nqus ntawm thaj chaw muaj peev xwm hloov tau ceev ntawm cov phiaj, tab sis nws xav tau ntxiv kev sib xyaw ntawm cov tshuab sib xyaw. Electromagnetic rotating magnetic-arc source ua rau siv cov txiaj ntsig zoo ntawm transverse magnetic teb lub zog thiab kev hloov pauv zaus kom paub txog qhov muaj zog dispersive arc lub xeev tau faib thoob plaws lub hom phiaj nto ntawm qhov txias cathode phiaj khoom, uas yog cov txiaj ntsig zoo rau cov cua kub tsis zoo ntawm tag nrho phiaj xwm nto thiab qhov tseem ceeb txo ntawm kev ceev tam sim no.

(4) Qhov ntau hom sib xyaw txuas txuas nrog cov khoom siv sib nqus sib xyaw pabcuam arc ion plating arc qhov chaw tuaj yeem ua qhov chaw tsim lub zog sib nqus los ntawm cov khoom siv sib nqus los ntawm kev siv cov sib nqus sib nqus sib nqus taw qhia mus rau ntug ntawm lub hom phiaj thiab tsom mus rau kev taw qhia qhov chaw sib nqus ua ib qho mob siab rau qhov nruab nrab ntawm lub hom phiaj, thiaj li tswj kev txav ntawm arc me ntsis, txhim kho lub xeev kev tawm ntawm arc me ntsis thiab txo qhov kev tso tawm pov tseg. Kev sib kis tau ruaj khov ntawm cov ntshav nyob rau hauv cov lus taw qhia ntawm tsom xam teb sib nqus tuaj yeem txhim kho qhov kev sib tsoo particle qhov tshwm sim, ionization tus nqi thiab ion ntom ntawm ntshav.

(5) Electromagnetic rotating magnetic-arc qhov chaw thiab ntau hom kev sib hloov sib txuas sib txuas daim teb-pab tau arc ion plating arc qhov yog ob hom tshiab ntawm qhov chaw muaj zog sib nqus tau tswj arc plating arc qhov chaw.