Magnetron Target Cheeb Tsam Thiab Thoob Fais Ntau Yam Thiab Cov Load Load Muaj Tiag
Jun 23, 2018| 1. Qhov Chaw Pov Hwm thiab Thauj Khoom Fais Fab
(1) Lub zog qhov ntawm lub phiaj xwm phiaj txhawm rau qhov sib npaug yog feem ntau 1 ~ 25 W / cm 2.
(2) Lub zog ntom nti ntawm qhov lub phiaj xwm ntawm lub npov magnets loj dua 1 ~ 36 W / cm 2.
(3) Lub zog ntawm lub cylindrical magnetron lub hom phiaj los yog ib lub hom phiaj ntawm cov pob zeb sib txuas (S gun) yog feem ntau yog 40 ~ 50 W / cm2.
2. Qhov tseeb Load zog ntawm lub Tshaj Tawm Magnetron
Qhov tseeb load lub zog ntawm lub phiaj xwm magnetron yog nyob ze rau qhov txias txias thiab lub cua sov dissipation mob ntawm lub hom phiaj, ntxiv rau cov yam ntxwv xws li txoj kev sib tshuam, kev xav tau ntawm cov yeeb yaj kiab thiab lwm yam. Magnetron lub hom phaj yuav muab faib ua ob hom: "cov tib neeg siv dej txias" thiab "targeting water cooling", raws li txoj kev txias txias.
Xav tias cov cua kub cua sov lub plhaub zwj ceeb ntawm qhov kev tua cov kab mob yuav tsis zoo tom qab siv lub sij hawm ntev, qhov tseeb tshaj plaws zog ntawm cov dej txias zis yuav tsum yog me ntsis tsawg tshaj qhov siab tshaj ntawm qhov muaj zog ntau npaum li cas uas xav tias qhov sib txawv ntawm cov cua kub cev coefficient ntawm cov hom phiaj ntawm ntau lub hom phiaj, thiab qhov kawg ntawm lub zog ntawm lub phiaj xwm magnetron. Qhov tseeb tshaj plaws ntawm lub voj voog cov cua txias yuav tsum raug xaiv raws li ntawm ib nrab ntawm qhov siab tshaj plaws ntawm lub zog ntom ntom.
Thaum cov phiaj xwm magnetron (Cu, Ag, Brass, thiab Al bronze) "self-sputtering", yog ib qho chaw khiav lag luam uas yog tsim los rau "kev tswj dej txias rau lub hom phiaj" feem ntau yog siv. Qhov tseeb lub zog thaum siv yuav tsum siab tshaj qhov siab tshaj plaws ntawm lub hom phom ntau zog (piv txwv li,> 100 W / cm2 los yog ntau dua).