Cov teeb meem tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm cov roj diffusion twj tso kua mis

May 17, 2022|

Cov teeb meem tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm cov roj diffusion twj tso kua mis

Cov pa phem qhov chaw ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm cov roj diffusion twj tso kua mis:
(1) lub backflow ntawm roj vapor nyob rau hauv lub diffusion twj tso kua mis. Qhov no yog qhov tseem ceeb tshaj plaws ntawm cov pa phem.
(2) Cov khoom hauv qhov system yuav tsum tuav ntawm tes nrog roj thaum sib dhos. Siv cov hnab looj tes greasy raws li cov nplaum organic molecules tuaj yeem ua paug rau lub cev.
(3) backflow ntawm cov roj nyob rau hauv lub tshuab twj tso kua mis ntawm lub qub theem roj foob. Qhov teeb meem no kuj loj heev, thaum lub inlet siab siab dua, nyob rau hauv lub hloov chaw (1 ~ 10-1Pa) siab, cov neeg kho tshuab twj tso kua mis roj vapor tau ncaj qha mus rau hauv lub diffusion twj tso kua mis, ncaj qha pa phem system. Feem ntau ntawm cov txheej txheem nqus cov pa phem yog los ntawm cov tshuab twj tso kua mis rov qab. Thaum lub tshuab twj tso kua mis nres, yog tias qhov cua tsis tau muab tso rau hauv lub twj tso kua mis hauv lub sijhawm, lub tshuab twj tso kua mis tuaj yeem ncaj qha rov qab mus rau lub diffusion twj tso kua mis. Thaum lub diffusion twj tso kua mis pib, cov pa phem ntawm lub cev yog qhov hnyav dua.
(4) Cov pa phem tshwm sim los ntawm kev tso tawm cov khoom sib khi hauv cov pa tawm. Tshwj xeeb, cov khoom siv roj hmab sealing rings, sealing grease, lubricating roj, thiab lwm yam, kuj ua rau muaj kuab paug loj.
(5) Thaum lub twj tso kua mis nres thiab cov cua tso tawm, lub tshuab nqus tsev yog daig nrog dej vapor thiab lampblack hauv huab cua, ua rau muaj kuab paug rau lub tshuab nqus tsev.

 diffusion pump system

IKS PVD tuam txhab, kho kom zoo nkauj txheej tshuab, cuab yeej txheej tshuab, DLC txheej tshuab, kho qhov muag txheej tshuab, PVD nqus txheej kab, txoj haujlwm tig-key yog muaj. Hu rau peb tam sim no, E-mail:iks.pvd@foxmail.com

 


Xa kev nug