Ntshav Tu
Jul 05, 2018|
Plasma tu txhais tau tias siv cov ntshav kom ua tiav cov txiaj ntsig uas cov kev tu tsev tsis tuaj yeem ua tau. Plasma yog lub xeev ntawm cov teeb meem, tseem hu ua plaub lub xeev ntawm qhov teeb meem uas tsis yog nyob rau peb lub xeev uas muaj zog, kua thiab roj. Thov lub zog txaus rau cov roj rau ionize nws ua ntshav xeev.
Cov "ua haujlwm" ntawm cov ntshav yog cov ions, electrons, atoms, reactive pawg, nuclides hauv kev txaus siab xeev (metastasis xeev), photons thiab lwm yam. Kev kho plasma yog hais txog kev kho qhov saum npoo ntawm qhov hnoos qeev los ntawm kev siv cov khoom ntawm cov khoom ua ub no kom ncav cov teebmeem ntawm kev tu thiab txheej. Cov nplaim ntawm lub workpiece yog kho los ntawm cov tshuaj los yog lub cev ua haujlwm kom ua tiav cov pa tawm ntawm qib molecular, uas ua rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom ua haujlwm. Cov kab mob uas raug tshem tawm yuav muaj cov organic teeb meem, epoxy resin, photoresist, oxides, microparticle contaminants, thiab lwm yam, yog li kev tu plasma yog ib hom kev kho mob siab. Kev sib txawv ntawm kev tu yuav tsum tau siv rau cov pa phem txawv. Feem ntau hais lus, plasma tu yog muab tso rau hauv cov tshuaj ntxuav vaj tse, kev tu lub cev, thiab kev tu lub cev ua dej num nyob ntawm seb tus txheej txheem siv roj.
