Uniformity teeb meem ntawm Magnetron Sputtering Zaj duab xis
Jul 05, 2018| Uniformity ntawm magnetron sputtering zaj duab xis yog ib qho tseem ceeb Performance index, yog li ntawd nws yog ib qhov tsim nyog yuav tau kawm cov influencing factors cuam tshuam rau uniformity ntawm magnetron sputtering nyob rau hauv thiaj li yuav ua tau zoo cuag uniform coatings. Tsuas hais lus, magnetron sputtering hais txog cov electrons ua ib qhov kev sib txig nyob rau hauv lub plhom lub hom phiaj ntawm qhov kev txwv ntawm cov kev sib raug ntawm magnetic field nyob rau hauv ib qho orthogonal electromagnetic field. Thaum lub sij hawm ua cov lus taw kev, cov electrons ua tawm tsam cov roj ua hauj lwm (argon roj) kom ionize ib qho loj ntawm argon ions. Nyob hauv lub teb fais fab, cov argon ions ceev nrooj bombard lub phiaj xwm, thiab lub hom phiaj atomic ions (los yog molecules) nyiaj tso rau hauv lub substrate los ua ib zaj duab xis nyias.
Yog li, thiaj li yuav ncav tau ib lub tsho zoo li, nws yog ib qho tsim nyog rau lub plhaub tev tus nplaum lub hom phiaj atom ions (los yog molecules), uas yuav tsum tau hais tias cov argon ions uniformly bombard lub hom phiaj. Txij li thaum lub argon ions accelerate lub bombardment ntawm lub hom phiaj nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm lub teb hluav taws xob, lub teb hluav taws xob yog yuav tsum tau hnav. Cov argon ions originate los ntawm cov electrons khi los ntawm cov kev sib raug ntawm magnetic field, thiab cov electrons tau tas li ntaus thaum lub sij hawm lub zog, uas yuav tsum tau muaj teeb meem magnetic teb thiab uniform argon faib. Txawm li cas los xij, nyob rau hauv qhov tseeb magnetron sputtering li, cov teeb meem no tsis yooj yim kiag li, thiab nws yog ib qhov tsim nyog yuav tau kawm cov nyhuv ntawm lawv cov tsis sib luag ntawm cov zaj yeeb yaj kiab uas tsis muaj qhov sib xws. Qhov tseeb, qhov tsis meej ntawm cov hlau nplaum thiab cov uniformity ntawm cov roj ua hauj lwm yog qhov tseem ceeb tshaj plaws uas cuam tshuam rau uniformity ntawm zaj yeeb yaj duab tsim. Loj magnetic loj txhais tau hais tias loj zaj duab xis thickness, thiab cov kev taw qhia ntawm magnetic teb kuj yog ib qho tseem ceeb ntawm kev cuam tshuam rau uniformity. Hais txog huab cua siab, nyob rau hauv ib lub siab, lub film nrog huab cua loj muaj qhov loj tuab.
