Lub tshuab nqus tsev ib puag ncig ntawm Sputter txheej
Jun 26, 2018| 1. Nqus Chaw Txuas Xov Tooj Cua
(1) Ntau hom magnetron xoos txheej txheem dej yuav tsum tau ua nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev vacuum; qhov khoom nqus ntawm lub cav hlau raug kaw yog feem ntau yuav tsum ncav cuag 10-3Pa ~ 10-5Pa; qee txheej txheej kuj yuav muaj qhov khoom nqus dua.
(2) Vim yog lub roj ntim adsorbed rau sab hauv cov phab ntsa ntawm lub cav nqus hlau thiab cov hlau nplaum magnetron, nws yuav siv sij hawm ntev kom mus txog qhov yuav tsum tau nqus dej ntawm lub txheej thaum thawj zaug ntawm lub tshuab nqus tsev. Tom qab ncav cov ntaub ntawv nqus tsev kawm ntawv, vim tias qhov deflation ua tiav tiav, lub sijhawm nqus tsev yuav raug txo kom tsawg dua zaum ob rov tawm tsev.
2. Ua haujlwm roj
Raws li cov zaj duab xis sib txawv thiab cov txheej txheem yuav tsum tau ua, ib nrab ntawm cov pa hauv paus yog tso tawm rau hauv lub qhov nqus tsev ntawm qhov siab ntawm 0.1 mus rau 1 Pa (RF magnetron sputtering: 0.1 Pa mus 0.05 pa) hauv cov txujci magnetron. Cov pa nquag yog siv roj, xws li argon Ar, Helium Kr, Helium Xe, Helium Ne thiab Nitrogen N2. Argon feem ntau yog siv los ua cov pa roj carbon dioxide rau magnetron sputtering vim nws tsis muaj nqi thiab yooj yim txaus.
3. Ua Kev Roj Kev Siv Dej
(1) Cov pa roj carbon monoxide hauj lwm ntawm DC thiab IFs pulsted magnetron sputtering yog feem ntau ntawm 0.3 ~ 0.8Pa (tus nqi raug 5 * 10-1 Pa).
(2) RF magnetron pluttering tuaj yeem ua tau rau txhua zaus hauv kev ua haujlwm ntawm 10-1 ~ 10-2 Pa.
(3) Lub magnetron txav cov txheej txheem cathode ntawm lub hom phiaj (xws li tsis tshua muaj neeg xav tau ntawm purity thiab qhov chaw puv ntawm cov zaj duab xis txheej) kuj ua tau zoo tso rau hauv kev ua hauj lwm siab ntawm 1 Pa ~ 10 Pa los yog siab dua.
(4) Muaj ntau yam xws li qhov loj ntawm lub tshuab nqus tsev, qhov khiav tau roj, qhov ceev nqus, thiab qhov qhib thiab kaw lub qhov rooj ntawm lub qhov rooj ntawm lub qhov rooj tuaj yeem cuam tshuam txog kev ua haujlwm siab. Qhov ntsuas kawg ntawm kev ua haujlwm ntawm roj haujlwm yuav tsum raug suav tias yog vim li cas cov txiaj ntsig ntawm qhov khiav ntawm cov pa roj-qhov nqus thiab qhov qhib qhov rooj ntawm lub qhov rooj ntawm lub qhov rooj.