Lub hauv paus ntsiab lus ntawm cov yeeb yuj PVD lub tshuab nqus tsev yog dab tsi?

Lub hauv paus ntsiab lus ntawm cov yeeb yuj PVD lub tshuab nqus tsev yog dab tsi?

Molecular beam epitaxy tau dav siv los tsim ntau yam kev siv kho qhov muag thiab ntau cov yeeb yaj kiab super-lattice. Thaum cov nplaim nplaum sib xyaw nrog lub zog siab-cov lus loj, cov lus hais ntawm cov khoom tawg tuaj yeem tau txais lub zog thiab khiav tawm ntawm sab npoo kom tso nyiaj rau hauv txheej. Sputtering tau pib siv nyob rau hauv txheej txheej thev naus laus zis xyoo 1870, thiab tau maj mam siv rau hauv kev lag luam tom qab xyoo 1930 vim tias tus nqi nce ntxiv. Cov khoom siv rau kev tso nyiaj feem ntau yog tsim rau hauv cov phaj, phiaj, uas yog kho rau ntawm cathode. Hauv qab tso yog muab tso rau ntawm anode tig mus rau ntawm thaj chaw phiaj, ob peb centimeters ntawm lub phiaj. Tom qab tau muab lub tshuab nqus mus rau lub tshuab nqus tsev siab, lub kaw lus muaj cov roj li 10 ~ 1 pa (feem ntau argon), thiab ob peb kilovolts tau thov nruab nrab ntawm cov cathode thiab anode, ua rau muaj qhov ci ntawm qhov electrodes. Cov ions pom zoo tsim los ntawm qhov tawm ya tawm mus rau cathode nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm hluav taws xob teb thiab sib tsoo nrog cov atoms ntawm lub hom phiaj saum npoo. Lub hom phiaj atoms khiav tawm ntawm lub hom phiaj nto los ntawm kev sib tsoo yog hu ua sputtering atoms, uas nws lub zog nyob ntawm 1 txog kaum ob ntawm hluav taws xob hluav taws xob. Lub tshuab hluav taws xob atoms yog tso rau ntawm txheej deg kom ua tau electroplating. Sib txawv los ntawm cov roj av electroplating, sputtering electroplating tsis txwv los ntawm cov ntsiab lus melting ntawm cov khoom siv zaj duab xis thiab tuaj yeem ua rau cov nplauv refractory tshuaj xws li W, Ta, C, Mo, WC thiab TiC. Cov yeeb yaj kiab sib xyaw ua ke tuaj yeem npaj tau los ntawm kev ua kom lub ntsej muag, uas cov roj av tiv thaiv (O, N, HS, CH, thiab lwm yam) ntxiv rau hauv cov roj av Ar, thiab cov roj cua tiv thaiv thiab lawv cov ions react nrog phiaj atoms lossis sputtering atoms los tsim cov sib txuas ( xws li oxides, nitride, thiab lwm yam) thiab tso nyiaj rau ntawm lub khob av. Zaj duab xis rwb thaiv tsev kawm tau muab tso los ntawm kev qhia siab ntau dhau los. Cov txheej hauv qab yog nruab rau ntawm cov nplaim hluav taws xob, thiab lub hom phiaj rwb thaiv tsev yog ntsia ntawm cov hluav taws xob rov qab. Hf lub zog muab rau ib qho ntawm ib qho kawg thiab txuas nrog lub tshuab hluav taws xob nrog lub phiaj hluav taws xob ntawm kev sib txuas cov network thiab cov DC muaj peev xwm. Tom qab hloov ntawm hf fais fab mov, HF voltage hloov pauv cov nplaim hloov pauv. Cov hluav taws xob thiab cov ions zoo nyob hauv cov ntshav ntaus lub rwb thaiv tsev phiaj ntawm qhov zoo thiab tsis zoo ib nrab ntawm kev siv hluav taws xob. Txij li cov hluav taws xob muaj hluav taws xob muaj qhov siab dua qhov muaj cov ion zoo, qhov saum npoo ntawm qhov hluav taws xob insulating tsis zoo them. Thaum qhov sib luag ntawm qhov sib npaug tau nce mus txog, lub hom phiaj yog nyob ntawm qhov tsis zoo kev cuam tshuam, yog li qhov sib nrug ntawm qhov zoo ntawm ion mus rau lub hom phiaj txuas ntxiv.

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