Cov lus qhia txog lub tshuab nqus tsev

Cov lus qhia txog lub tshuab nqus tsev

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Kev pov thawj ntawm lub tshuab nqus tsev

Lub tshuab nqus tsev vacuum yog ib qho luaj li cas ntawm cov cua hauv qab cheeb tsam ntawm lub siab.

2. Nqus tsev kawm ntawv qib siab

Lub teeb ntawm thinness hauv lub tshuab nqus tsev yog feem ntau yog "high nqus" thiab "tsis muaj lub tshuab nqus tsev". Lub tshuab nqus tsev txhais tau tias zoo, thiab lub tshuab nqus tsev tsis zoo txhais tau tias pluag.

3. Lub tshuab nqus tsev

Feem ntau Torr yog siv lub tsev, thiab Pa siv thoob teb chaws nyob rau xyoo tas los.

1 tuav = 1/760 cua = 1 millimeter ntawm mercury

4. Hloov ntawm Tod thiab pa

1 pallet = 133.322 pallets los yog 1 pallet = 7.5 zaug 10-3 pallets

5. Nruab nrab dawb txoj kev

Qhov kev nrug nrab yog dhau los ntawm ob qho kev sib tsoo ntawm kev sib tsoo ntawm cov khoom cua hauv lub thermal unregular thermal yog raug cim los ntawm lub cim "tawm mus".

6. khiav

Qhov ntau ntawm roj ntws los ntawm txhua seem hauv lub sij hawm hauv chav tsev, qhia tias yog "Q", hauv cov koog ntawm Pa / L / s (Pa · L / s) lossis Torres / Torr (L / s).

7. Nias phau ntawv

Nws yog rab peev xwm ntawm txoj hlua nqus dej kom dhau los ntawm roj. Chav tsev yog liters thib ob (L / s), thiab nyob rau hauv ib lub xeev ruaj khov, cov yeeb nkab khiav yog sib npaug rau cov yeeb nkab uas faib rau qhov sib txawv ntawm qhov ob hnub ntawm cov yeeb nkab. Lub cim hu ua U.

U = Q / (P2, P1)

8. Siab lossis siab

Cov quab yuam ua ntawv thov los ntawm cov pa roj molecule ntawm ib cheeb tsam ntawm phab ntsa ntawm lub thawv yog qhia P.

9. Txuj ci atmospheric siab

Siab siab ntawm 101325 hnub ib square centimeter, cim: (Atm).

10. Qhov kawg ntawm lub tshuab nqus tsev

Tom qab lub nkoj nqus pum ntim pum lawm, nws yog nyob ntawm qhov chaw nqus tsev, uas yog hu ua lub qhov nqus dej. Feem ntau, lub nkoj nqus tsev yuav tsum tau ua pa rau 12 teev thiab tom qab nqus 12 xuab moos. Lub sijhawm kawg yog ntsuas txhua 10 feeb. Tus nqi nruab nrab ntawm 10 npaug yog siv raws li qhov txwv nqus tus nqi.

11. Siv tus nqi

Thaum lub siab thiab kub, cov pa roj pumped ntawm lub twj tso kua mis tso rau hauv chav nruab nrab yog hu ua nqus dej, los yog siv zog. Sp = Q / (p-p0).

12. Thermocouple nqus cov tshuab nqus tsev

Siv lub tshuab nqus tsev vacuum siv los ntsuas qhov kawm ntawm lub tshuab nqus tsev uas yog siv qhov hluav taws xob ntawm thermocouple hauv kev piv rau qhov kub ntawm lub qhov cua sov, thiab qhov kub ntawm lub caij txuas mus rau kev siv hluav taws xob ua kom sov.

13. Ionization nqus ntsuas (ntsuas kub cathode ionization gauge)

Nws yog tsim los ntawm ib tug tubular collector ncej, ib daim phiaj thiab ib lub ntsiab lus nyob rau hauv nruab nrab ntawm kab sib chaws. Cov laj kab sau tub sab yog sab nraum daim phiaj. Kub cathode emission electron ionized roj molecules, ions yog sau los ntawm tus neeg ua ke, raws li qhov tau ceev ion kwj los ntsuas qhov roj siab ntawm lub tshuab nqus tsev.

14. Muab cov tshuab nqus tsev twj sib xyaw

Kev tsim cov thermocouple cov tshuab nqus tsev tho nqus thiab lub ntsuas kub-cathode ionization nqus ntsuas, ntau qhov kev ntsuas yog ~ 10-5pa.

15. Txias cathode ionization gauge

Muaj ob kab ntawm cathode pa ntawm ob hnub ntawm txoj hlab pas, nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm sab nraud magnetic teb, pannin paug yog tsim hauv lub anode raj tsim ua ions, thiab lub ntsuas qhov nqus ntawm roj siab yog txiav txim siab raws li qhov loj ntawm ion ntws los ntawm cov cathode phaj.

16. Kev tiv thaiv kev nqus plua plav

Lub tshuab nqus tsev vacuum uas ntsuas cov khoom nqus tsev los ntawm txoj kev siv hluav taws xob, siv lub hauv paus ntsiab lus uas ua rau cov cua kub tsis muaj qhov kub thiab kub ntawm lub caij muaj feem xyuam nrog cov roj conduction.

17. McLeod kaw lub tshuab nqus tsev twj (muab cov tshuab nqus dej kom huv)

Cov roj uas tau ntsuas tau muab luam tawm mus rau ib lub ntim me me uas muaj mercury (lossis roj), thiab muab piv rau cov kua dej sib txawv ntawm qhov qhib thiab kaw lub raj.

18 thiab B - Ib koob

Qhov no yog qhov kub cathode ionization gauge nrog lub collector inversion. Lub tshuab electrode yog ib daim qauv, muab tso rau hauv qhov nruab nrab ntawm kab sib chaws, thiab cov ntsiab lus muab tso rau sab nraum lub kab sib chaws, txo cov kev cuam tshuam ntawm cov duab X-ray.

19. Dej ntim tshuab nqus tsev

Lub twj tso kua mis pum tau tig los ua ib lub zeeg dej. Nws yog lub tshuab nqus tsev twj cov twj, cov twj pumps vim yog lub sijhawm hloov ntawm lub nplhaib thiab cov hniav vim yog rotor eccentricity rotation.

20. Reciprocating nqus tsev twj

Nws yog ib lub tshuab nqus tsev twj lub tshuab nqus tsev, thim cua los ntawm kev sib hloov ntawm lub piston.

21. roj foob cav nqus tsev twj

Mechanical nqus twj nrog roj kom lub foob tau muab faib ua hom tsau, hom teb, zawv zawg lub tshuab ntaus, hom tshuab trochoidal thiab hais txog.

22. Kaw cov tshuab nqus tsev twj

Mechanical nqus tsev twj nrog ib nkawm ntawm cov xim high-speed rotating-khau rotors, qhov no twj tsis tuaj yeem raug pov tseg, roj foob, dej ntiv nplhaib thiab lwm lub tshuab nqus tsev tso tau ncaj qha rau cua.

23. Turbo-molecular nqus tsev twj tso kua mis

Muaj lub siab ceev rotating impeller. Thaum cov roj molecules sib tsoo nrog cov high-speed rotating turbine hniav, lawv tau tsav mus rau lub qhov hluav taws xob thiab ces muab tshem tawm los ntawm lub hauv ntej lub twj tso kua mis.

24. Roj diffusion nqus cov twj tso kua mis

Kev kub - ceev chav dej ntws tawm los ntawm cov tsis muaj lub taub dej ntawm lub tshuab hluav taws xob. Nyob rau hauv txoj kev khiav dej num ntawm molecular, cov roj molecules pheej yig tshaj mus rau hauv lub zog khiav, thiab yog siv los ntawm lub zog siv los ntawm lub tshuab fais fab ntawm lub kauj ruam los ntawm kauj ruam thiab ces tshem tawm los ntawm tus qub twj.

25. Kub cov nqus cov twj tso kua mis

Lub tshuab nqus tsev twj siv los ua kom cov roj tawm adsorption ntawm qhov kub tsis txias hauv qab 20K.

26. Txias kab (dej baffle)

Ib qho cuab yeej muab tso rau nruab nrab ntawm lub tshuab nqus tsev thiab lub tshuab nqus dej kom nqus roj los yog ntes cov pa roj vov.

27. Huab cua ballast valve

Mechanical roj muab lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis rau ntawm lub nruas chamber kom qhib qhov me me, thiab muab tso rau lub teeb, thaum qhib lub valve, lub rotor rau ib qho chaw, dhau qhov no nrog qhov chaw chamber compressed kom txo compression ratio, uas yog ua rau feem ntau ntawm cov pa yog siv los ntawm lub xauv tawm ntawm lub twj tso kua mis nrog cov roj tov hauv lub luag haujlwm ntawm lub valve hu ua roj gas ball valve.

28. Nqus kom qhuav dej kom qhuav

Lub tshuab nqus tsev qhuav kom qhuav, tseem hu ua sublimation drying. Lub tswv yim yog kom khov cov khoom kom cov dej nws muaj pauv mus rau dej khov, tom qab ntawd yuav ua rau cov dej khov hauv qhov nqus kom qhuav.

29. Lub tshuab nqus tsev

Nyob hauv ib qho chaw xau, cua sov thiab txheej rau cov khoom siv mus rau hauv substrate yog hu ua nqus evaporation, los yog nqus plua plav.

30. Nqus kom qhuav

Nws yog ib txoj kev ziab cov khoom siv los ntawm kev siv cov khauj khaus uas tsis muaj qhov kub nyob hauv qhov chaw xau.

31. Lub npe ntawm lub tshuab nqus tsev

(1) lub tshuab nqus tseem ceeb: nyob hauv lub tshuab nqus tsev, lub tshuab nqus tsev nqus tau siv kom tau txais daim ntawv nqus tsev kawm ntawv kom tau raws li tus txheej txheem tshwj xeeb, xws li cov roj diffusion twj hauv lub tshuab nqus tsev lub tshuab.

(2) pem hauv ntej theem twj: lub tshuab nqus tsev nqus siv los tswj lub siab ntawm lub tshuab nqus tsev rau pem hauv ntej theem hauv nws cov theem sab nraud. Cov kauj vab kiv los yog swb valve, xws li tom lub taub roj hmab, yog lub forepump.

(3) lub tshuab fais fab: lub tshuab nqus tsev twj uas pib lub cua tso rau hauv lub siab, thiab tom qab ntawd pom lub zog siab rau lwm lub tshuab nqus tsev los ua haujlwm. Xws li lub tshuab nqus tsev txheej tshuab hauv lub twj tso zis tso tawm, yog cov roj ua kom pom zoo.

(4) lub tshuab fais fab: nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev, cov cua ntim tsawg heev thiab hauv pem teb twj ywm tsis tau zoo. Rau qhov kawg, lub peev xwm me me ntawm lub twj tso kua mis los tuav lub ntsiab twj ua haujlwm, lub twj tso kua mis no hu ua cov twj tu nkawm. Yog hais tias lub cav me me ntawm lub vev xaib ntawm lub tshuab hluav taws xob diffusion, nws yog lub twj tso kua mis.