Nqus cov khoom siv khoom nqus khoom thiab cov cwj pwm thiab xaiv cov tshuab nqus tsev twj
Jan 24, 2019| Nqus cov khoom siv khoom nqus khoom thiab cov cwj pwm thiab xaiv cov tshuab nqus tsev twj
IKS PVD, PVD txheej tshuab factory.contact: iks.pvd@foxmail.com
Nqa cov khoom siv khoom nqus tau muab faib ua tsib pawg:
(1) khoom siv khoom nqus khoom - khoom siv ua kom zoo, txhim kho los yog tuav lub tshuab nqus tsev. Xws li ntau hom kev sib ntxub, qis, nruab nrab, siab thiab ultra siab nqus cov twj thiab lub cav nqus tsev.
A. Lub tshuab nqus tsev twj tshuab: cov ntsuas twj ywm, cov twj reciprocating, swb valve twj, keeb kwm twj, molecular cov twj thiab kua nplhaib twj, thiab lwm yam.
B. Vapor flow nqus cov twj tso kua mis: dej ntub dej pwg, roj twj tso kua mis thiab cov roj pa diffusion, thiab lwm yam.
C. Siv lub tshuab nqus cov tshuab nqus tsev twj: titanium tshuab raj ion, cov kua roj cryogenic, lub tshuab ua kua molecular sieve adsorption thiab zirconium thiab aluminium cua absorbers twj.
D. Lub tshuab nqus tsev: nws yog hom chav tsev ntawm cov khoom xws li cov tshuab nqus tsev, ntsuas nqus thiab tswj lub tshuab nqus tsev.
(2) cov khoom siv cav nqus tsev ~ ntau yam khoom siv hauv chaw xau khoom (nyob rau hauv lub xeev cov pa roj carbon monoxide).
A. Lub tshuab nqus tsev tshuab: evaporation txheej tshuab, magnetron sputtering txheej tshuab, ion txheej tshuab thiab ntshav cov khoom siv tshuaj tso dej, thiab lwm yam.
B. Lub tshuab nqus cua sov ua kom sov: ua cua sov, hluav taws xob beam hluav taws xob, hluav taws xob hluav taws xob, hluav taws kub induction thiab ib qho siv lead ua cua sov, thiab lwm yam.
C. Kev kho cua sov cua sov rau cua sov: cua sov, cua sov, cua txias rau hluav taws kub, cov roj taws carbon nitriding, nitriding taws thiab cov cua tshuab taws, thiab lwm yam.
D. Lwm yam khoom siv lub tshuab nqus tsev: khoom siv rau cov khoom khov kho, khoom siv rau cov khoom siv, cov khoom ua kom huv, cov khoom cog rau cov khoom noj, cov txiv hmab txiv ntoo thiab nroj tsuag, cov khoom siv thauj mus los, cov khoom simulation, lub cav ntim thiab cov tshuab hlau degassing, thiab lwm yam.
(3) Kev ntsuas nqus ntsuas qhov ntsuas qhov ntsuas txog qhov siab ntawm cov roj cua thiab cov pwm hauv qab ib qho chaw.
A. Tsis tshua muaj nqus cov ntsuas (ntsuas ntau: 105--102Pa).
B. Lub tshuab nqus cua txias (ntsuas ntau npaum li cas: l02 - l0-1pa).
C. Siv lub tshuab nqus tsev twj (ntsuas ntau tshaj l0-1-10-5pa).
D. Ultra-siab nqus cov tshuab ntsuas (ntsuas ntau <>
(4) lub tshuab nqus tsev dej ntws tawm: ib qho khoom ntsuas kom paub txog txoj haujlwm lossis tus nqi ntawm cov qhov tso tawm hauv lub tshuab nqus tsev lossis cov khoom. Nws muaj xws li lub txim hluav taws xob txia detector detector halogen los detector thiab helium huab hwm coj spectrometry los detector.
(5) lub tshuab nqus plugs (valve valve) - ib qho kev siv los tswj kev khiav, txiav tawm lossis txuas cov kabmob hauv lub tshuab nqus tsev. Xws li lub plhaub tws plhaub, qhov muag plhaub, qhov sib txuas ntawm lub plab, cov nplaum sib nqus tawm, lub diaphragm valve thiab kev tswj lub valve.
Yuav kom xaiv zoo dua thiab siv lub tshuab nqus tsev, peb tau tshwj xeeb ua tiav cov ntsiab lus hauv qab no kom paub, kom koj xaiv tau cov khoom zoo. Raws li qhov tseeb qhov teeb meem no, peb yuav tsum them nyiaj rau cov no:
1, lub tshuab nqus tsev twj ua hauj lwm kev vibration ntawm tus txheej txheem thiab qhov chaw tsis muaj kev cuam tshuam. Yog hais tias tus txheej txheem tsis txhawb, yuav tsum xaiv tsis muaj lub zog ntawm lub twj tso kua mis los yog coj cov kev ntsuas kom tsis txhob muaj kev vibration.
2. Paub tias cov pa roj carbon monoxide pumped, txawm tias muaj hmoov av lossis plua plav hauv qhov roj. Thaum xaiv lub tshuab nqus tsev twj, koj yuav tsum paub txog cov roj. Yog hais tias cov roj muaj cov pa, cov khoom siv thiab cov roj ntsha corrosive, nws yog ib qho tsim nyog yuav tau txhim kho cov cuab yeej pabcuam hauv qhov khauj ntawm cov twj tso kua mis.
3, lub tshuab nqus tsev twj hauv nws cov haujlwm ua haujlwm, tuaj yeem ntws cov khoom siv lub tshuab nqus tsev nyob rau hauv cov txheej txheem ntawm txhua cov roj cua.
4, qhov tseeb ua ke ntawm lub tshuab nqus tsev twj. Qee lub sij hawm xaiv lub twj tsis tuaj yeem ua raws li qhov yuav tsum tau siv rau kev siv vim tias lub tshuab nqus tsev nqus tau xaiv qhov siv, yuav tsum tau siv ob peb lub twj sib txuas kom sib haum ua kom tiav raws li qhov yuav tsum tau siv.
Yog hais tias cov twj siv lub titanium sublimation muaj lub siab siv zog rau hydrogen tab sis tsis tuaj yeem pom helium, thiab cov tshuab raj ntsaws (los yog bipolar asymmetric cathode sputtering ion twj tso kua mis) muaj qee yam khoom siv rau argon, lub tshuab nqus tsev vacuum yuav tau txais cov qib nqus dej .
5. Yuav tsum muaj cov pa phem pov tseg ntawm lub tshuab nqus tsev. Yog tias cov cuab yeej siv tsis muaj roj, yuav tsum xaiv ntau lub twj, xws li: dej ntim twj, cov twj tso kua mis yas suab sib txuas, lub tshuab nqus dej, cov kua roj ntsha, thiab lwm yam, yog tias qhov yuav tsum tsis nruj, xaiv tau lub twj, ntxiv rau qee cov roj phem kev tiv thaiv kev ntsuas.
6, qhov tseeb xaiv lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis. Txhua lub twj tso kua mis muaj qee yam ntawm kev ua haujlwm. Yog li, qhov chaw ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis yuav tsum raug xaiv nyob rau hauv qhov no ntau dua, thiab tsis tuaj yeem cia nws ua hauj lwm hauv 25 ~ 30 hliHg ntev.
7. Qhov ntawm cov pa roj paug tawm ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm qhov chaw ua haujlwm yog dab tsi? Yog hais tias qhov chaw tsis pub muaj kuab paug, koj tuaj yeem xaiv lub tshuab nqus tsev twj tsis muaj roj, los yog cov pa roj pa ua pa rau sab nraum zoov.
8. Lub siab ua hauj lwm ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum yuav tsum ua raws li qhov yuav tsum tau ua ntawm lub tshuab nqus tsev thiab kev ua haujlwm ntawm lub tshuab nqus tsev. Piv txwv, lub tshuab nqus tsev drying yuav tsum tau muaj lub tshuab nqus tsev ntawm 10mmHg, qhov nqus qhov kawg ntawm lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yuav tsum yog yam tsawg 2mmHg, thiab qhov zoo tshaj plaws yuav ncav cuag 1 hliHg. Feem ntau xaiv lub tshuab nqus tsev vacuum yog siab dua cov khoom siv nqus ua hauj lwm nqus ib nrab mus rau qhov kev txiav txim ntawm qhov ntau.
9. Thaum kawg, txiav txim siab pib lub nqi txhim kho, kev lag luam thiab txij nkawm nqi ntawm lub tshuab nqus tsev twj, xaiv lub tshuab nqus tsev twj nrog cov nqi siab ua ke nrog qhov teeb meem tiag tiag.