Deposition yam ntxwv ntawm Elemental Target thiab Alloy Target
Sep 02, 2024| Deposition yam ntxwv ntawm elemental phiaj thiab alloy phiaj
(Cr, Ti, Al) N quaternary txheej tuaj yeem npaj tau los ntawm kev sib koom ua ke ntawm ntau lub hom phiaj los yog los ntawm kev sib txuas ncaj qha ntawm ntau lub hom phiaj alloy. Qhov kom zoo dua ntawm ntau lub hom phiaj tseem ceeb tso (Cr, Ti, Al) N txheej los ntawm co-sputtering yog tias txhua lub hom phiaj yog ywj siab ntawm ib leeg, thiab cov ntsiab lus ntawm Cr, Ti thiab Al hlau cov ntsiab lus hauv cov txheej txheem tuaj yeem tswj tau ntawm nws tus kheej. lub hom phiaj tam sim no lossis lub hom phiaj lub zog [21], yog li tau txais (Cr, Ti, Al) N txheej txheej sib txawv ntawm qhov sib txawv [53]. Nws muaj qhov pom tseeb zoo hauv kev npaj cov yeeb yaj kiab multilayer thiab cov yeeb yaj kiab sib xyaw. Qhov tsis zoo ntawm txoj kev no yog tias muaj ntau qhov kev hloov kho tsis tau, ntau lub hom phiaj rov ua dua ua rau cov txheej txheem tsis sib xws, thiab cov stoichiometric piv ntawm cov ntsiab lus hauv (Cr, Ti, Al) N txheej tsis tuaj yeem tswj tau raug [54]. Los ntawm kev siv cov phiaj xwm kev tso nyiaj (Cr, Ti, Al) N quaternary txheej, kev tswj qhov ntsuas yog qhov yooj yim, thiab qhov sib piv ntawm cov txheej txheej feem ntau yog ze rau ntawm lub hom phiaj alloy siv [55], yog li nws yooj yim dua kom tau txais lub (Cr, Ti, Al) N quaternary txheej nrog uniform muaj pes tsawg leeg. Txawm li cas los xij, vim qhov sib txawv sputtering yields ntawm txhua lub caij tsim lub hom phiaj alloy thaum lub sij hawm sputtering txheej txheem, muaj ib qho teeb meem ntawm kev xaiv sputtering ntawm cov ntsiab lus sib txawv, yog li qhov muaj pes tsawg leeg ntawm txheej txheej tseem txawv ntawm cov hom phiaj alloy [56] . Tam sim no, nyob rau hauv txoj kev tshawb no ntawm kev npaj ntawm (Cr, Ti, Al) N quaternary txheej los ntawm magnetron sputtering, ntau hom alloy hom phiaj yog AlTi phiaj thiab AlCr lub hom phiaj.
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