Txoj Kev Npaj DLC
Jan 08, 2024| Txoj kev npaj DLC
Kev tshawb fawb ntawm DLC zaj duab xis npaj tshuab pib hauv xyoo 1970s. Txij li thaum Aisenberg thiab Chabot tau ua tiav DLC cov yeeb yaj kiab los ntawm carbon Ion beam hauv xyoo 1971, Ion beam deposition tau siv los npaj cov yeeb yaj kiab DLC. Txij thaum ntawd los, cov kws tshawb fawb tau pom ntau txoj hauv kev los tsim cov yeeb yaj kiab DLC. Maisel et al. tau taw qhia nyob rau hauv phau ntawv "Thin Film Process Manual" tias feem ntau cov ntaub ntawv nyias nyias uas tuaj yeem tso rau hauv cov roj theem kuj tuaj yeem ua ke los ntawm cov txheej txheem electrochemical hauv cov kua theem, thiab rov ua dua. Ntxiv rau cov tshuaj vapor deposition (CVD) thiab lub cev vapor deposition (PVD), DLC zaj duab xis kuj tuaj yeem npaj los ntawm electrochemical deposition hauv cov kua theem.
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