Magnetron Sputtering Deposition Txheej Txheem Ntawm (Cr, Ti, Al) N Gradient Txheej
Sep 12, 2024| Magnetron sputtering deposition txheej txheem ntawm (Cr, Ti, Al) N gradient txheej
Tam sim no, cov txheej txheem magnetron sputtering raug rau (Cr, Ti, Al) N gradient txheej tuaj yeem muab faib ua cov kauj ruam hauv qab no:
Ion sputtering tu: Ar ion bombardment tuaj yeem tshem tawm cov impurities xws li oxides ntawm lub substrate nto thiab tseem qhib lub workpiece nto.
Deposition ntawm Cr hlau txheej: Pib Cr phiaj thiab tso nyiaj ntshiab hlau Cr hauv qab txheej. Muaj kev sib raug zoo ntawm Cr hlau txheej thiab substrate, thiab qhov tso tawm ntawm Cr txheej tuaj yeem zam qhov kev sib cuag ncaj qha ntawm N element thiab Fe matrix, tshem tawm cov txheej txheem ntawm tus kheej-brightening tsis xws luag hauv txheej, thiab txhim kho cov embrittlement. ntawm txheej.
Cr-CrN Cov txheej txheem hloov maj mam: Los ntawm kev txhaj tshuaj N2 thiab kho qhov N2 ntws tus nqi, cov ntsiab lus txheeb ze ntawm Cr keeb hauv txheej maj mam txo qis thiab cov ntsiab lus ntawm N cov ntsiab lus maj mam nce, yog li paub qhov kev hloov ntawm N tivthaiv ntawm Cr puag txheej thiab CrN. txheej, zoo tiv thaiv qhov tsis zoo ntawm cov khoom sib hloov ntawm kev sib khi lub zog ntawm cov txheej, thiab ua rau kev hloov ntawm cov txheej sab hauv thiab txheej txheej ntawm txheej zoo dua. Tib lub sijhawm, CrN txheej kuj tuaj yeem txhim kho qhov cuam tshuam ntawm txheej txheej;
Sedimentation CrN- (Cr, Ti, Al) N gradient nruab nrab txheej: Ti lub hom phiaj thiab Al lub hom phiaj yog maj mam pib, thiab N2 txaus tus nqi raug kho kom nce cov ntsiab lus ntawm N lub hauv paus, thiab cov ntsiab lus ntawm Al thiab Ti. lub caij tseem maj mam nce ntxiv, yog li ntawd qhov sib xyaw ntawm nruab nrab txheej hloov pauv hauv gradient. Vim tias tsis muaj qhov pom tseeb nrawm nrawm, qhov teeb meem kev ntxhov siab hauv cov txheej txheem tuaj yeem txhim kho. Qhov no muaj txiaj ntsig zoo ntawm kev txo qis hauv kev ntxhov siab ntawm cov txheej txheem thiab txhim kho lub zog sib txuas thiab kev siv lub zog ntawm cov txheej txheem.
Ntau hom deposition (Cr, Ti, Al) N txheej txheej sab saum toj: CrAlTiN txheej sab saum toj khaws cov txheej txheem tsis hloov pauv, qhov tso tawm tsis sib xws, ntom ntom, thiab cov muaj pes tsawg leeg ntawm txhua lub ntsiab lus ruaj khov, tshem tawm cov teeb meem tshwm sim los ntawm kev sib cais, thiab kev sib tham. kev siv cov cuab yeej txiav thiab lwm yam khoom siv tshuab.
IKS PVD tuam txhab, kho kom zoo nkauj txheej tshuab, cuab yeej txheej tshuab, DLC txheej tshuab, kho qhov muag txheej tshuab, PVD nqus txheej kab, txoj haujlwm tig-key yog muaj. Hu rau peb tam sim no, E-mail: iks.pvd@foxmail.com