Ntsuas Qhov Kub Cathode Ionization Nqus Gauge

Txawm hais tias qhov ntsuas kub ntawm cathode ionization lub tshuab nqus tsev ntsuas tuaj yeem ncav cuag 10-2~10-11mbar, thaum lub siab siab dhau lawm, kev sib raug zoo ntawm cov khoom ntws thiab siab yuav sib txawv ntawm cov kab thiab zoo li saturation. Txhawm rau txuas ntxiv qhov ntsuas ntsuas, Pirani lub tshuab nqus tsev ntsuas feem ntau yog siv los ntawm qhov pib ntawm lub twj tso kua mis (nyob rau hauv cov ntaub ntawv ntawm lub siab ntau dhau).

Tsis tas li ntawd, qhov qis qis ntawm kev ntsuas ntawm qhov kub kub cathode ionization nqus ntsuas ntsuas yog hais txog 10-6Pa kev txiav txim siab: Thaum lub rooj vag anode raug foob nrog cov hluav taws xob, cov hluav taws xob xoo hluav taws xob tau tsim, thiab photoelectron emission tshwm sim thaum lub ion tus neeg sau tau txais lub teeb ci no. Txij li thaum lub photon emission los ntawm lub collector yog sib npaug rau cov ions nws sau, lub siab-ywj siab ntawm keeb kwm yav dhau photocurrent yog tsim nyob rau hauv lub ion collector circuit, uas yog sawv cev los ntawm ib tug siab nyeem ntawv ntawm txog 10-6Pa thaum ntsuas. Txhawm rau tshem tawm cov nyhuv tom qab photocurrent thiab nthuav dav qhov ntsuas txwv ntawm kub cathode ionization lub tshuab nqus tsev ntsuas, BA ionization nqus ntsuas ntsuas (qhov ntsuas qhov txwv tuaj yeem ncav cuag 10-8Pa), kev ntsuas ntsuas lub tshuab nqus tsev (theoretically tuaj yeem ncav cuag {{6} }Pa), modulated lub tshuab nqus tsev ntsuas (10-10Pa), cais lub tshuab nqus tsev ntsuas (10-11Pa), thiab lwm yam.

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