PVD Txheej Txheej Nrog Nrog Kho Cov Xim Txiav Ntawm Cov Phiaj Zaj Duab

PVD txheej txheem nrog cov xim kho tau ntawm cov hom phiaj ua yeeb yaj kiab

1. Plating the film zaj duab xis, hla cov khoom yuav tsum tau plated rau hauv txheej txheej nruab nrog cov khoom lag luam phiaj hlau, qhib lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis thiab cov khoom siv cua sov kom sov lub hauv paus, kom lub tshuab nqus tsev ntawm tom qab tuaj yeem ncav cuag 1 10-3Pa thiab 80-150Ntawm cov txheej txheem kub, roj argon ntawm 10-1000sccm yog txhaj rau hauv chav, qhov hluav taws xob lub zog yog pib, sputtering lub zog yog tsim rau 1-15kW, txheej txheej txheej yog teem rau 10-300s, hlau zaj duab xis txheej ntawm 1-100nm tuab tau txais, hlau zaj duab xis txheej yog tooj liab (Cu), nyiaj (Ag), txhuas (Al), chromium (Cr) thiab lwm cov hlau zaj duab xis, lossis npib tsib xee-tooj ​​(NiCu) .NiCr (NiCr) alloy zaj duab xis; 2. Plating lub qis tsis zoo qhov taw qhia zaj duab xis zaj duab xis. Cov yeeb yaj kiab hlau tiav lawm tau hloov mus rau txheej txheej txheej ntawm cov khoom siv lub hom phiaj uas tuaj yeem tsim cov zaj duab xis tsis tshua muaj siab zoo nkauj thiab tso cua sov txog li 80-150Is cov txheej txheem kub ntawm, cov txheej txheem roj kis mus rau hauv chav, kis tau tus hluav taws xob tau ua 1 -15kW, lub sij hawm txheej txheej yog teem rau 1-300s, qhov qis tsis tshua nyiam qhov siab zaj duab xis txheej txheej nrog cov tuab ntawm 1-100nm yog tau txais, qis refractive index zaj duab xis txheej yog xws li silicon oxide silicon nitride zaj duab xis txheej; (3) Plating lub siab refractive index zaj duab xis. Tom qab plating ntawm qis refractive index zaj duab xis, cov khoom xa mus rau hauv txheej txheej ntawm cov khoom siv hom uas tuaj yeem ua lub siab zaj duab xis siab refractive, thiab rhuab txog li 80-150Hauv siab refractive index zaj duab xis txheej nrog tuab ntawm 1-100nm yog tau. Lub siab refractive index zaj duab xis txheej yog titanium oxide titanium nitride zirconium nitride zirconium nitride niobium nitride niobium oxide zinc oxide indium alumina oxide hlau oxide chromium oxide Cov txheej txheem roj ntawm no siab thiab qis tsis kam zaj duab xis yog tsawg kawg ntawm Ar N2 O2, nyob rau hauv uas ntws tus nqi ntawm Ar roj yog 10-1000SCCM, qhov ndlwg ntawm N2 roj yog 10-1000SCCM, thiab tus nqi ndlwg ntawm O2 roj yog 10-1000SCCM.4. Rov ua cov kauj ruam 2 thiab kauj ruam 3 ntau zaug kom tau txais cov zaj duab xis txheej ntawm cov xim sib txawv. Rov ua cov kauj ruam 2 thiab kauj ruam 3 1-100 zaug

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