Sputtering Deposition txoj kev rau Alloy zaj duab xis

Yuav kom txo tau cov naj npawb ntawm cov hom phiaj uas siv rau hauv lub tshuab fais fab, ib lub hom phiaj yuav tsum tau ua kom nrov thiab tso cov yeeb yaj kiab films uas ua tau raws li qhov kev sau ntawv thiab kev ua haujlwm. Yog li ntawd, lub hom phiaj ntawm kev sib txuam, kev sib txoos hauv cov hom phiaj, thiab ntau lub plhu yuav siv tau rau qhov no.

Feem ntau hais lus, nyob rau hauv lub xeev khov kho, raws li qhov muaj pes tsawg leeg ntawm lub hom phiaj, ntau ntau cov tshuaj hauv nruab nrab yog feem ntau ua rau qaug zog. Ib qho zoo ntawm cov pleev xim uas muaj cov hmoov evaporation thiab ion plating yog qhov sib txawv ntawm cov zauv ntawm zaj duab xis txheej thiab lub hom phiaj yog me thiab txheej txheej txheej ntau ruaj khov. Txawm li cas los xij, nyob rau qee kis, vim yog xaiv qhov txawv txav txawv ntawm qhov sib txawv ntawm cov kab sib txawv, sib txawv txav tus nqi qis thiab kev sib thab ntawm zaj duab xis, qhov muaj pes tsawg leeg ntawm txheej zaj duab xis thiab lub phiaj xwm yuav txawv heev. Thaum siv hom kab hom no, yuav kom tau cov yeeb yaj kiab ntawm tej yam khoom, qhov kub ntawm lub substrate yuav tsum tau txo kom ntau li ntau tau los txo qhov sib txawv ntawm kev them nqi ntawm qhov ntxiv rau cov hom phiaj raws li kev sim thiab nrhiav kev qhov kub ntawm lub hom phiaj. Tsis tas li ntawd, cov txheej txheem tsim nyog yuav txo cov kev ntxeev ntawm cov yeeb yaj kiab.

Muaj qee zaum, nws yog ib qho nyuaj rau kev npaj ib qho loj hauv cheeb tsam los sis lub hom phiaj ntawm qhov chaw. Yog li, lub mosaic phiaj tsim muaj li ntawm ib qho yuav siv tau. Qhov muaj pes tsawg ntawm lub hom phiaj yog muaj nyob hauv Daim Ntawv Foos 1.1. Ntawm lawv, tus kiv cua zoo li tus qauv mosaic (d) yog qhov zoo tshaj plaws, nws yog ib qho yooj yim uas tswj cov kab txawv ntawm zaj duab xis, thiab qhov repeatability kuj zoo. Hauv cov hauv paus ntsiab lus, tsis yog cov cwj pwm tsis txaus ntseeg binary, tab sis kuj yog ternary, quaternary alloy films los ntawm hom no.

Daim duab 1.1. Txhim kho lub hom phaj ntawm kev sib txawv

(a) Square Mosaic Target (b) Hloov Cov Mosaic Cov Hom Phiaj (c) Me Nyuam Mos Zaj Txheej Txheem (d) Dab Tsi Ua Dab Tsi

Tus qauv ntawm lub plhom feem ntau yog tshwm sim hauv daim duab 2. Lub substrate tig rau saum ob los sis ntau lub hom phaj, thiab cov thickness deposition ntawm txhua zaj duab xis yog tswj los ua ib los yog ntau cov atomic khaubncaws sab nraud povtseg, thiab zaj duab xis yuav siv sij hawm rov qab tso, thiaj li tau txais ib zaj yeeb yaj kiab paj yeeb. Piv txwv, In1-xGax Sb ib leeg siv crystal film yog npaj los ntawm InSb thiab GaSb lub hom phaj. Txawm hais tias cov cuab yeej no nyuab, tab sis txhua yam tivthaiv zaj duab xis yuav tau los ntawm kev tswj cov kev sib hloov ceev ntawm lub substrate thiab hloov qhov kev siv hluav taws xob rau txhua lub hom phiaj. Cov cwj pwm no tsis muaj peev xwm tswj tau raws li lub sij hawm txheej, lub tshooj ntawm cov yeeb yaj kiab raug hloov hauv cov kev coj ua zaj duab xis tuab thiab lub superlattice qauv tuaj yeem tau txais.

Daim duab 2. Schematic daim duab ntawm ntau lub phiaj tsom xam cov qauv

Kev pabcuam cathode feem ntau yog siv thaum qhov sib txawv ntawm lub cheebtsam ntawm zaj duab xis yog loj. Lub ntsiab cathode lub hom phiaj yog ua los ntawm cov khoom tseem ceeb ntawm cov hlau, thiab lub koom haum pabcuam cathode yog ua los ntawm cov khoom sib ntxiv ntawm cov hlau. Txhua lub hom phiaj yog txhij txhua ua ke rau cov yeeb yaj kiab. Los ntawm kev kho cov dej num tam sim no ntawm lub koom haum cathode, tus nqi ntawm cov khoom siv ntxiv hauv cov hlau zaj yeeb yam yuav hloov tau hloov.