Txhuam Txhuam Txheej Txheem | Lub Tshuab Nqus Tsev Txheej Txhuam Tu Vaj Tse Txhaum Cai

Lub tshuab nqus tsev tu | nqus txheej tshuab ntxhua khaub ncaws cov txheej txheem

Lub tshuab nqus tsev vacuum feem ntau yog txhais tau tias yog tshem tawm cov ntaub ntawv tsis pub siv los ntawm cov khoom ua haujlwm los yog qhov khoom ua dej ua ntej kev nqus tsev. Nws yog ib qhov tsim nyog los ntxuav qhov chaw ntawm lub tshuab nqus tsev, vim tias cov pa roj thiab cov kab uas ua los ntawm cov kuab paug yuav ua rau lub tshuab nqus tsev tsis tuaj yeem tau txais daim ntawv nqus tsev kawm ntawv. Tsis tas li ntawd xwb, vim muaj cov kuab paug, lub tshuab nqus tsev vacuum yuav cuam tshuam rau kev sib txuas lub zog thiab kev sib tw ua kom zoo.

A. Ntxuav lub tshuab cua kub

Muab cov khoom ntaiv tso rau hauv qhov qub los yog cua sov. Los txhawb cov evaporation ntawm cov neeg tsis muaj zog txaus rau ntawm qhov chaw ua kom huv si, lub txiaj ntsim ntawm txoj kev ua no yog cuam tshuam txog kev ceev puag ncig ntawm cov khoom ua haujlwm, qhov ntev ntawm lub sij hawm ntev hauv lub tshuab nqus tsev, cua kub, hom tshuaj dawb thiab cov khoom siv . Lub hauv paus ntsiab lus yog kom ua hauj lwm kom sov. Lub desorption ntawm dej molecules thiab ntau yam hydrocarbon molecules adsorbed nyob rau saum npoo yog kho kom zoo. Cov qib ntawm desorption li nyob ntawm kub. Ntawm lub ultra-high nqus, qhov chaw yuav tsum tau rhuab siab tshaj 450 degrees rau atomic-scale tu. Kev ntsuas cua kub yog qhov tshwj xeeb tshaj yog. Tab sis qee zaus, qhov kev kho mob no muaj peev xwm muaj kev phiv. Vim tias cov cua sov, tej yam hydrocarbons yuav sib sau ua ke rau hauv cov aggregates loj loj thiab txhawm rau ib txhij rau hauv cov pob slag.

B. Kev tu vaj tse UV

Cov roj carbon monoxide nyob rau saum npoo yog decomposed los ntawm ultraviolet irradiation. Piv txwv, raug pa ntev txog 15 xuab moos tuaj yeem tsim tau ib qho iav dawb huv. Yog tias lub qhov dej uas muaj qhov ua ntej yuav muab tso rau hauv ib qho chaw ultraviolet uas ua rau lub cev muaj zog. Lub qhov dej huv (cov txheej txheem tu) tuaj yeem tsim nyob hauv ob peb feeb. Qhov no qhia tau tias qhov tshwm sim ntawm lub cev muaj zog nce tus nqi ntawm kev tu vaj tse. Cov txheej txheem tu tsev yog raws li nram no: nyob rau hauv ultraviolet irradiation, av qoob loo yog cov stimulated thiab dissociated, thaum lub sij hawm rhaub tau tshwm sim thiab tsim los tsim cov kev ua kom muaj zog heev rau atomic oxygen. Qhov zoo siab lub cev molecules thiab dawb radicals uas ua los ntawm dissociation ntawm av av nrog atomic oxygen. Daim ntawv yooj yim, ntau tus neeg tsis muaj zog tuaj. Xws li H203, CO2 thiab N2. Cov tshuaj tiv thaiv tus nqi nce nrog qhov nce ntawm qhov kub thiab txias.

C. ntxuav tu

Txoj kev ntxuav tsev no yog siv los ntxuav thiab degassing ntawm lub tshuab nqus tsev thiab lub tshuab ultra siab. Tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev plhaub siv feem ntau. Siv lub xov kub los yog electrode ua hluav taws xob. Cov roj siv ntawm cov xuab zeb bombardment thiab tshem tawm cov roj av qaub ncaug tuaj yeem tau los ntawm kev thov thim qhov tsis zoo siab tuaj rau ntawm qhov chaw kom huv. Cov nyhuv kev ntxhov siab nyob ntawm cov khoom siv electrode, qhov ntsuas thiab kev sib raug zoo nrog lub ntsej muag. Nws nyob ntawm tus nab npawb ntawm ions ntawm ib thaj tsam chaw thiab lub zog ntawm cov ions. Nws nyob ntawm lub hwj chim hluav taws xob zoo. Lub tshuab nqus tsev vacuum uas muaj cov pa roj (feem ntau Ar roj) ntawm qhov tsim nyog ib nrab. Lub hom phiaj ntawm kev tu tau tuaj yeem ua tiav los ntawm ion bombardment los ntawm ib qho kev tawm ntawm qhov siab thaum tsis muaj siab ntawm ob qho kev xaiv electrodes. Nyob rau hauv txoj kev. Cov pa roj yog qhov raug rhuav tshem thiab cov foob pob hluav taws hauv lub qhov nqus tsev, thiab lwm yam khoom hauv lub vos tsev nqus tsev thiab cov coated substrate, uas tuaj yeem tiv thaiv qee lub tshuab nqus tsev los ntawm kev kub hnyiab. Kev tu kom zoo dua qub ntawm cov roj carbon monoxide muaj peev xwm ua tau yog tias cov pa ntxiv rau cov roj. Cov pa tawm tau yooj yim tawm ntawm lub tshuab nqus tsev vim nws oxidizes cov hydrocarbons mus rau lub cua kub tsis taus. Lub ntsiab ntawm cov khoom tseem ceeb ntawm impurities rau ntawm cov hlau tsis huv thiab lub tshuab nqus tsev ultra yog cov pa roj carbon thiab hydrocarbons. Nyob rau hauv dav dav, cov carbon yog tsis volatile. Tom qab tshuaj ntxuav, nws yog ib qho tsim nyog los qhia Ar lossis Ar + O2 sib tov ua kom pom kev tawm ntawm lub qhov ncauj tawm, kom cov impurities nyob rau saum npoo thiab cov nkev ntawm qhov chaw ua haujlwm vim muaj tshuaj lom neeg tuaj yeem raug tshem tawm. Lub qhov ci tawm huv huv. Qhov tseem ceeb tshaj plaws yog cov hom kev siv hluav taws xob (AC los yog dc), qhov paug hluav taws xob, qhov ceev ceev, hom roj muaj, thiab siab. Qhov tseem ceeb tshaj plaws yog cov hom kev siv hluav taws xob (AC los yog dc), qhov paug hluav taws xob, qhov ceev ceev, hom roj muaj, thiab siab. Qhov tseem ceeb tshaj plaws yog cov hom kev siv hluav taws xob (AC los yog dc), qhov paug hluav taws xob, qhov ceev ceev, hom roj muaj, thiab siab. Lub sij hawm ntawm kev sib tw. Cov duab ntawm cov electrode thiab cov khoom thiab qhov chaw ntawm lub qhov chaw kom raug muab ntxuav

D. Roj yaug

1. Dej nitrogen

Thaum nitrogen yog adsorbed rau cov khoom siv deg, lub sij hawm adsorption yog luv luv vim lub zog adsorption zog. Txawm hais tias nws yog adsorbed ntawm phab ntsa ntawm lub cuab yeej, nws yog ib qho yooj yim yuav tsum tau muab tshem tawm. Lub sij hawm siv zog ntawm lub cev yuav raug txo kom tsawg los ntawm kev siv cov khoom ntim ntawm nitrogen kom yaug lub tshuab nqus tsev. Piv txwv, ua ntej lub tshuab nqus tsev tso rau hauv qhov chaw, qhuav nitrogen yog pib ua ntej rau hauv lub tshuab nqus tsev thiab tom qab ntawd muab ntim rau hauv cov cua, ces lub sij hawm ntim ntawm lub voj voog mus tom ntej yuav raug ua kom luv los ntawm ze li ib nrab, yog vim li cas lub zog adsorption ntawm nitrogen yog ntau me dua li cov dej roj molecules. Tom qab nitrogen tau ntim rau hauv lub tshuab nqus tsev, nitrogen lwg me ntsis yog thawj lub cev ntim ntawm phab ntsa nqus tsev. Raws li qhov chaw kawm adsorption yog tas, nws yog thawj zaug uas muaj nitrogen lwg me, thiab cov adsorbed water molecules yog cov me me, yog li muab cov sij hawm ntev tshem tawm. Yog tias lub cev muaj kab mob sib kis los ntawm cov roj ntsha cov diffuser, cov kab mob kuj tuaj yeem raug ntxuav los ntawm nitrogen txoj hlua. Feem ntau, cov roj qias tuaj yeem raug tshem tawm ntawm cua sov lub cev thaum tu lub system nrog nitrogen.

2. Cov pa roj ua kom zoo

Qhov no yog tshwj xeeb tshaj yog tsim rau sab hauv tu (tshem tawm cov roj carbon kabmob (hydrocarbon contamination) ntawm cov loj ultra high nqus hlau tshuab tsis zoo. Kev siv lub tshuab nqus tsev thiab lub tshuab nqus tsev ntawm lub tshuab nqus tsev rau qee qhov loj-loj, muaj cov txheej txheem los tshem tawm cov chaw ua kom tsis muaj pa phem yog tshuaj ntxuav, cov tshuab nqus tsev, ua kom lub qhov dej tawm thiab lub tshuab hluav taws xob tuaj. muab qhov chaw huv ntawm atomic lub xeev. Cov txheej txheem tu thiab degassing saum toj no feem ntau siv ua ntej thiab thaum lub caij ntawm lub tshuab nqus tsev. Tom qab lub installation (los yog kev khiav haujlwm) ntawm lub tshuab nqus tsev, nws yooj yim rau degasse qhov ntau qhov chaw hauv lub tshuab nqus tsev vim lawv tau raug tsau. Thaum cov kab mob lawm (qhov tsis zoo) (kabmob nrog cov lej atomic atomic number, xws li hydrocarbons), nws yog ib qho disassembled, tiav thiab tom qab ntawd rov nruab. Cov txheej txheem ntawm cov tshuaj tiv thaiv yuav siv tau rau hauv qhov chaw on-line degassing. Nws txoj kev tu tsev: oxidizing roj (O2, N0) thiab txo roj (H2, N H3) tau hais hauv lub cev los ua cov tshuaj ntxuav hauv qhov chaw hlau kom tshem tawm cov pa phem, thiaj li tau txais cov hlau tawm hauv qhov chaw atomic. Tus nqi ntawm cov pa oxidation / txo qhov nyob ntawm qhov sib kis ntawm cov kab mob thiab cov khoom siv rau ntawm cov hlau nto. Tus nqi ntawm cov tshuaj tiv thaiv saum npoo yog tswj los ntawm kev kho siab thiab ntsuas kub ntawm cov tshuaj tiv thaiv roj. Rau txhua lub substrate, tsis muaj tseeb yog txiav txim siab. Cov cwj pwm no tsis txawv rau cov kev sib txawv crystalline.

Nqus plua plav txheej tshuab ntxuav cov txheej txheem

Cov khoom siv nqus tsev yuav tsum tau muab ntxuav ua ntej yuav nqus tsev vacuum kom tshem tawm cov kab mob ntawm cov haujlwm workpiece lossis lub qhov khoom siv; Nws tseem ceeb heev los ntxuav lub qhov nqus ntawm qhov chaw nqus, vim hais tias cov roj thiab cov kab uas ua los ntawm cov kuab paug yuav tsis tsuas ua rau lub tshuab nqus tsev tsis tuaj yeem nqa daim ntawv nqus tsev kawm ntawv. Tsis tas li ntawd xwb, vim muaj cov kab mob sib kis, nws yuav ua rau lub zog thiab kev sib tw ntawm qhov nqus qhov sib txuas.

Pollutants tuaj yeem txhais tias yog "yam tsis muaj txiaj ntsig lossis lub zog". Raws li lub cev nqaij daim tawv ntawm cov kuab paug, lawv muaj peev xwm raug muab faib ua cov khoom, roj thiab kua, uas muaj nyob rau hauv daim ntawv ntawm zaj duab xis los yog cov xoob. Nyob rau hauv cov nqe lus ntawm nws cov tshuaj cov khoom, nws yuav ua tau nyob rau hauv ib qho kev ionic los yog lub xeev lub teb, nws muaj peev xwm yuav inorganic los yog organic.

Cov chaw uas tuaj yeem tawm hauv cov huab cua yog feem ntau raug cov kab mob sib kis. Muaj ntau qhov chaw ntawm cov pa phem. Adsorption, kev tshuaj lom neeg, kev lim dej thiab kev ziab, kev ua haujlwm, thiab diffusion thiab kev sib sau ua txhua yam tuaj yeem pab txhawb ntxiv rau cov kabmob ntawm ntau qhov chaw.

Raws li lub tshuab nqus tsev txheej txheem, cov kab mob khaub thuas rau saum npoo cov khoom nqus yog raws li nram no:

1. Roj: lubricants, txiav cov dej haus, cov roj xau thiab lwm tus kab mob thaum lub sijhawm ua haujlwm, sib dhos thiab ua haujlwm;

2, kua qaub, alkali, ntsev cov tshuaj: residual tshuaj thaum lub sij hawm tu, ntxuav hws, cov zaub mov hauv dej, thiab lwm yam .;

3. Cov dej oxide: qhov dej oxides tsim los ntawm cov ntaub ntawv uas muab tso rau hauv cov huab cua ntev ntev lossis cov pa hauv cov av;

4. Dej puag: txhais tes hws thaum lub lag luam, dej ua pa thaum tshuab ntswg, qaub ncaug, thiab lwm yam .;

5, polishing residue thiab plua plav thiab lwm yam organic teeb meem hauv cov huab cua kub nyhiab.

Lub hom phiaj ntawm kev ntxuav cov paug no yog los txhim kho kom ruaj khov ntawm lub tshuab nqus tsev, xwv kom cov haujlwm yuav ua haujlwm zoo dua. Raws li qhov uas yuav tsum tau ua, cov dej ntxuav tau muab faib ua ob hom: atomic clean surface thiab cov ntxhib dej ntxuav hluav taws xob.

Nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev txheej tshuab ua ntej siv cov ntaub ntawv txheej cov ntaub ntawv los ua ib qho yooj yim ntws tu tau ntev rau kev pab cuam lub neej ntawm txheej tshuab. Ntau yam paug kua mis tsis yog tsuas ua kom lub tshuab nqus tsev tsis tuaj yeem txais daim ntawv nqus tsev kawm ntawv, tab sis kuj ua rau lub zog thiab kev sib tw ntawm cov khoom nqus qhov sib txuas. Thaum ntxov nyob rau hauv qhov chaw ua haujlwm, yuav ua rau muaj teeb meem ntau, kom tsis txhob muaj teeb meem me me, kev ua hauj lwm zoo, lub tshuab nqus tsev txheej tshuab muaj txheej txheem zoo heev. Nws tuaj yeem txhim kho qhov kev ua haujlwm ntawm txhua phab ntsa thiab lwm cov khoom tivthaiv hauv lub tshuab nqus tsev nyob rau ntau yam kev ua haujlwm.

IKS PVD, yog tias koj nyiam, peb tuaj yeem hais ib lub tshuab ua kom haum rau koj, ua ntej kev kho mob ntawm PVD txheej, txhua nqe lus nug txog pvd tshuab nqus tsev, hu rau peb tam sim no, iks.pvd @ foxmail.com