Cov xwm txheej cuam tshuam rau PECVD txheej txheem zoo feem ntau suav nrog cov hauv qab no
Jul 06, 2023| Ob yam yuav tsum tau txiav txim siab nyob rau hauv kev xaiv ntawm qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv hauv PECVD kab noj hniav:
(1) Lub teeb hluav taws xob hluav taws xob: Kev xaiv qhov sib txawv yuav tsum ua kom lub teeb pom kev zoo kom tsawg li sai tau kom txo tau cov peev txheej hauv cov ntshav thiab txo qhov kev puas tsuaj rau lub substrate.
(2) phaj sib nrug thiab kab noj hniav cua siab: thaum lub phaj sib nrug loj, qhov kev puas tsuaj rau lub substrate me me, tab sis qhov sib nrug yuav tsum tsis txhob loj dhau, txwv tsis pub nws yuav ua rau cov npoo ntawm cov hluav taws xob thiab cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm tso nyiaj. Qhov loj ntawm cov tshuaj tiv thaiv chamber tuaj yeem ua kom cov khoom tsim tau, tab sis nws kuj muaj kev cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm thickness.
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